Den första mikrovågsugnen uppfanns 1945 av Percy Spencer, en självlärd ingenjör som arbetar för Raytheon Corporation. Spencer märkte att mikrovågor kunde värma mat snabbt när han experimenterade med radarutrustning. Han patenterade sin uppfinning 1947, och den första kommersiella mikrovågsugnen introducerades 1947.
Tidiga mikrovågsugnar var dock mycket dyra och användes främst i storkök. Det var inte förrän på 1960-talet som mikrovågsugnar blev överkomliga för hemmabruk. 1967 introducerade Amana Corporation den första bänkmikrovågsugnen, Radarange. Radarangen blev en framgång och mikrovågsugnar blev snabbt en vanlig apparat i amerikanska hem.